?精密蝕刻的精度和側(cè)蝕

在精密蝕刻的過程中，除了不做任何防腐處理的整體蝕刻法，一定要注意防腐層下蝕刻的“蔓延”問題，也就是通常所說的側(cè)面蝕刻。側(cè)蝕的大小直接關(guān)系到圖文的準(zhǔn)確性和蝕刻線條的極限尺寸。通常，抗蝕劑層下水平方向上的蝕刻寬度A被稱為側(cè)蝕刻量，側(cè)蝕刻量A與蝕刻深度H的比值是側(cè)蝕刻速率F:

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?精密蝕刻的精度和側(cè)蝕?

F=A/H

式中：A為側(cè)蝕刻量(mm)，H為精密蝕刻深度(mm)；F為側(cè)蝕刻率或腐蝕因素；f是側(cè)蝕率或腐蝕因子，用來表示不同條件下側(cè)蝕量與腐蝕深度的關(guān)系。

上述arc R受蝕刻深度、蝕刻窗口的最小寬度與蝕刻深度的比率、蝕刻溶液的成分、蝕刻方法和材料類型的影響很大。側(cè)面蝕刻的量決定了化學(xué)蝕刻的精度。側(cè)蝕量越小，加工精度越高，適用范圍越廣。反之，加工精度低，應(yīng)用范圍小。

側(cè)蝕量主要受金屬材料的影響。在幾種常用的金屬材料中，銅的側(cè)蝕最小，鋁的側(cè)蝕最大。選擇較好的腐蝕劑，雖然腐蝕速度不明顯，但可以改善金屬精密蝕刻的側(cè)蝕。