?在芯片行業(yè)的加工過(guò)程中,除了眾所周知的光刻技術(shù),還有一個(gè)同樣重要的科技創(chuàng)新的關(guān)鍵機(jī)械設(shè)備-蝕刻機(jī)。而我們國(guó)內(nèi)芯片制造的常用工具,深受國(guó)外專業(yè)企業(yè)的沖擊。如果能得到這方面的發(fā)展趨勢(shì),那么中國(guó)蝕刻機(jī)就有很大的發(fā)展機(jī)會(huì),提高技術(shù)法規(guī),還能卡住TSMC的5nm自動(dòng)生產(chǎn)線。
其實(shí)
蝕刻機(jī)和光刻差不多。這是一個(gè)極其重要的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),完全可以在芯片制造中發(fā)揮不可替代的作用。芯片加工有三個(gè)核心步驟,分別是光刻、刻蝕和沉積,其中光刻必須是光刻,刻蝕依賴于蝕刻機(jī)。
?
蝕刻機(jī)設(shè)備?
很有可能大多數(shù)人平時(shí)對(duì)光刻比較關(guān)注,對(duì)蝕刻機(jī)印象不太深。根本原因是光刻是中國(guó)加工芯片的一大軟肋。近年來(lái),伴隨著中國(guó)對(duì)芯片產(chǎn)業(yè)的日益重視,光刻技術(shù)自然受到了廣泛的關(guān)注。
但需要注意的是蝕刻機(jī)意義重大,光刻技術(shù)是一個(gè)檔次的。半導(dǎo)體行業(yè)普遍認(rèn)為,沒(méi)有光刻,芯片制造工藝就無(wú)法進(jìn)行,所以如果光刻沒(méi)有蝕刻機(jī),那么處理芯片就無(wú)法制造。那也是各個(gè)芯片代工公司幾十年工作經(jīng)驗(yàn)的結(jié)果。蝕刻機(jī)眾所周知。